Study of plasma—solid interaction in electronegative gas mixtures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Czechoslovak journal of physics 2006-12, Vol.56 (12), p.1437-1444
Hauptverfasser:	Hrach, Rudolf, Šimek, Jiří, Hrachová, Věra
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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