Squeeze film damping due to flexible and rigid body motion in MEMS: a comparison of analytical, numerical and experimental results

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration actuators, systems integration, 2024-11
Hauptverfasser:	Singh, Satyapal, Kumar, Navin
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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