Recent advances on MEMS based Infrared Thermopile detectors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration actuators, systems integration, 2022-08, Vol.28 (8), p.1751-1764
Hauptverfasser:	Mbarek, Sofiane Ben, Alcheikh, Nouha, Younis, Mohammad I.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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