The 4th ASME-ISPS/JSME-IIP joint international conference on micromechatronics for information and precision equipment, Santa Clara, California, USA

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration actuators, systems integration, 2013-09, Vol.19 (9-10), p.1267-1268
Hauptverfasser:	Ong, Eng Hong, Fukuzawa, Kenji, Chang, Jen-Yuan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Editorial Electronics and Microelectronics Engineering Instrumentation Mechanical Engineering Nanotechnology
Online-Zugang:	Volltext
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