Recent developments in dimensional metrology for microsystem components

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microsystem technologies 2002-03, Vol.8 (1), p.3-6
Hauptverfasser:	CAO, S, BRAND, U, KLEINE-BESTEN, T, HOFFMANN, W, SCHWENKE, H, BÜTEFISCH, S, BÜTTGENBACH, S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Industrial metrology. Testing Mechanical engineering. Machine design Precision engineering, watch making
Online-Zugang:	Volltext
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