Lubricant evaluation method for FDBs using TOF-SIMS

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microsystem technologies 2002-08, Vol.8 (4-5), p.228-234
Hauptverfasser:	MATSUOKA, K, OBATA, S, TOUJOU, F
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Bearings, bushings, rolling bearings Drives Electronics Exact sciences and technology Magnetic and optical mass memories Mechanical engineering. Machine design Precision engineering, watch making Storage and reproduction of information
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