Multilayer polyimide film substrates for interconnections in microsystems

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration actuators, systems integration, 1999-07, Vol.5 (4), p.166-168
Hauptverfasser:	FACH, A, ATHANASSOV, Y, BRUNNER, U, HABLÜTZEL, D, KETTERER, B, LINK, J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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