Molding of LIGA microstructures from fluorinated polymers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration actuators, systems integration, 1996-10, Vol.2 (4), p.182-185
Hauptverfasser:	RUPRECHT, R, KALB, H, KOWANZ, B, BACHER, W
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Machinery and processing Mechanical engineering. Machine design Miscellaneous Moulding Plastics Polymer industry, paints, wood Precision engineering, watch making Technology of polymers
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