High-aspect-ratio WC-Co microstructure produced by the combination of LIGA and micro-EDM

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration actuators, systems integration, 2000, Vol.6 (5), p.175-178
Hauptverfasser: TAKAHATA, K, SHIBAIKE, N, GUCKEL, H
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0946-7076
1432-1858
DOI:10.1007/s005420000052