High-aspect-ratio WC-Co microstructure produced by the combination of LIGA and micro-EDM
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration actuators, systems integration, 2000, Vol.6 (5), p.175-178 |
---|---|
Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | |
---|---|
ISSN: | 0946-7076 1432-1858 |
DOI: | 10.1007/s005420000052 |