Matrix laser cleaning : a new technique for the removal of nanometer sized particles from semiconductors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 2007-08, Vol.88 (2), p.227-230
Hauptverfasser:	GRAF, J, LUK'YANCHUK, B. S, MOSBACHER, M, HONG, M. H, CHONG, C. T, BONEBERG, J, LEIDERER, P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Nanoscale materials and structures: fabrication and characterization Physics Surface treatments
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