Synthesis of crystalline Ge nanoclusters in PE-CVD-deposited SiO2 films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 2005-12, Vol.81 (8), p.1591-1593
Hauptverfasser:	LEERVAD PEDERSEN, T. P, SKOV JENSEN, J, CHEVALLIER, J, HANSEN, O, JENSEN, J. M, BECH NIELSEN, B, NYLANDSTED LARSEN, A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Nanocrystalline materials Nanoscale materials and structures: fabrication and characterization Physics
Online-Zugang:	Volltext
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