Variable UV laser exposure processing of photosensitive glass-ceramics: maskless micro- to meso-scale structure fabrication

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 2005-12, Vol.81 (8), p.1569-1581
Hauptverfasser:	LIVINGSTON, F. E, HELVAJIAN, H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Cross-disciplinary physics: materials science rheology Electronics Exact sciences and technology Materials science Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Physics Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Surface treatments
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