Femtosecond laser microfabrication of periodic structures using a microlens array

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 2005-02, Vol.80 (4), p.683-685
Hauptverfasser: MATSUO, S, JUODKAZIS, S, MISAWA, H
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0947-8396
1432-0630
DOI:10.1007/s00339-004-3108-x