Influence of the substrate temperature on BCN films deposited by sequential pulsed laser deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 1999-12, Vol.69 (7), p.S667-S670
Hauptverfasser:	Teodorescu, V.S., Luches, A., Dinu, R., Zocco, A., Ciobanu, M.F., Martino, M., Sandu, V., Dinescu, M.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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