Short-pulse laser deposition of diamond-like carbon thin films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 1999-12, Vol.69 (7), p.S347-S353
Hauptverfasser: Banks, P.S., Dinh, L., Stuart, B.C., Feit, M.D., Komashko, A.M., Rubenchik, A.M., Perry, M.D., McLean, W.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0947-8396
1432-0630
DOI:10.1007/s003390051415