Line-scan sequential lateral solidification of Si thin films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 1998-09, Vol.67 (3), p.273-276
Hauptverfasser:	SPOSILI, R. S, IM, J. S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Laser deposition Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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