Process-parameter optimization of Sb 2 O 3 films in the ultraviolet and visible region for interferometric applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 1996-07, Vol.63 (2), p.195-202
Hauptverfasser:	Sahoo, N. K., Apparao, K. V. S. R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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