Investigation of ZnS thin films on Si(100) by phase detection imaging and Young's modulus microscopy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Fresenius' journal of analytical chemistry 1998-08, Vol.361 (6-7), p.613-617
Hauptverfasser:	RESCH, R, FRIEDBACHER, G, GRASSERBAUER, M, LINDROOS, S, KANNIAINEN, T, VALKONEN, M. P, LESKELÄ, M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Structure and morphology thickness Surface structure and topography Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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