Universal threshold for the steam laser cleaning of submicron spherical particles from silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 2000-06, Vol.70 (6), p.669-672, Article 669
Hauptverfasser:	Mosbacher, M., Dobler, V., Boneberg, J., Leiderer, P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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