Aluminum Metallization Technology for Semiconductor Devices

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	JOM (1989) 1985-05, Vol.37 (5), p.55-59
Hauptverfasser:	Garosshen, T. J., Stephenson, T. A., Slavin, T. P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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