Growth of high-quality GaSb by metalorganic vapor phase epitaxy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1995-11, Vol.24 (11), p.1691-1696
Hauptverfasser:	KOLJONEN, T, SOPANEN, M, LIPSANEN, H, TUOMI, T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics Vapor phase epitaxy growth from vapor phase
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