Properties of a high resolution negative photoresist

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1982-07, Vol.11 (4), p.761-778
Hauptverfasser:	Neisius, K., Merrem, H. J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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