Influence of dry and wet cleaning on the properties of rapid thermal grown and deposited gate dielectrics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1993-03, Vol.22 (3), p.335-339
Hauptverfasser:	XIAOLI XU, KUEHN, R. T, ÖZTÜRK, M. C, WORTMAN, J. J, NEMANICH, R. J, HARRIS, G. S, MAHER, D. M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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