Dependence of electrical properties of polycrystalline cvd si films on grain size and impurity doping concentrationa,b

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1981-11, Vol.10 (6), p.1011-1050
Hauptverfasser:	Yang, Jane J., Simpson, William I., Ruth, Ralph P.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!