Characterization and optimization of the SiO2/SiC metal-oxide semiconductor interface

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1995-04, Vol.24 (4), p.303-309
Hauptverfasser:	Shenoy, J. N., Chindalore, G. L., Melloch, M. R., Cooper, J. A., Palmour, J. W., Irvine, K. G.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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