Epitaxial layer thickness measurements by reflection spectroscopy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1989-05, Vol.18 (3), p.361-367
Hauptverfasser:	TAROF, L. E, MINER, C. J, SPRINGTHORPE, A. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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