Reduction of charge injection into PECVD SiNxHy by control of deposition chemistry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1990, Vol.19 (1), p.19-27
Hauptverfasser:	SMITH, D. L, ALIMONDA, A. S, CHAU-CHEN CHEN, TUAN, H. C
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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