Reaction chemistry and resulting surface structure of HgCdTe etched in CH4/H2 and H2 ECR plasmas

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1995-09, Vol.24 (9), p.1155-1160
Hauptverfasser:	KELLER, R. C, SEELMANN-EGGEBERT, M, RICHTER, H. J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Cross-disciplinary physics: materials science rheology Exact sciences and technology Materials science Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface structure and topography Surface treatments Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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