Effects of HCl and Cl2 additions on silicon oxidation kinetics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of electronic materials 1974-05, Vol.3 (2), p.371-389
Hauptverfasser:	van der Meulen, Y. J., Cahill, J. G.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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