Characterization of silicon ion-implantation damage in single-strained-layer (InGa)As/GaAs quantum wells
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Veröffentlicht in: | Journal of electronic materials 1988-09, Vol.17 (5), p.405-409 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0361-5235 1543-186X |
DOI: | 10.1007/BF02652126 |