Optical absorption studies of Si implanted SiO2

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of electronic materials 1990-02, Vol.19 (2), p.131-138
Hauptverfasser: KALNITSKY, A, ELLUL, J. P, BOOTHROYD, A. R, ABBOTT, R. S
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0361-5235
1543-186X
DOI:10.1007/BF02651737