An accurate and computationally efficient semi-empirical model for arsenic implants into single-crystal (100) silicon

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of electronic materials 1994-08, Vol.23 (8), p.801-808
Hauptverfasser: SHYH-HORNG YANG, MORRIS, S. J, LIM, D. L, TASCH, A. F, SIMONTON, R. B, KAMENITSA, D, MAGEE, C, LUX, G
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0361-5235
1543-186X
DOI:10.1007/BF02651376