Morphological development during platinum/gallium arsenide interfacial reactions

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of electronic materials 1990-06, Vol.19 (6), p.581-589
Hauptverfasser: SCHULZ, K. J, ZHENG, X.-Y, LIN, J.-C, CHANG, Y. A
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0361-5235
1543-186X
DOI:10.1007/BF02651282