The use of secondary ionic emission and nuclear reactions to determine the parameters in the manufacture of a planar transistor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of Radioanalytical Chemistry 1972-12, Vol.12 (2), p.353-366
Hauptverfasser:	Monnier, J., Hilleret, H., Ligeon, E., Quoirin, J. B.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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