Kinetics of O2 + TEOS gas-phase chemical reactions in a remote RF plasma reactor with electron spin resonance

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma chemistry and plasma processing 1996-06, Vol.16 (2), p.187-194
Hauptverfasser:	Janča, J., Tálský, A., Zvoníček, V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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