Process-parameter optimization of Sb2O3 films in the ultraviolet and visible region for interferometric applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 1996-08, Vol.63 (2), p.195-202
Hauptverfasser:	SAHOO, N. K, APPARAO, K. V. S. R
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Exact sciences and technology Insulators Optical properties and condensed-matter spectroscopy and other interactions of matter with particles and radiation Optical properties of specific thin films Physics
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