Process-parameter optimization of Sb2O3 films in the ultraviolet and visible region for interferometric applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Applied physics. A, Materials science & processing Materials science & processing, 1996-08, Vol.63 (2), p.195-202
Hauptverfasser: SAHOO, N. K, APPARAO, K. V. S. R
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0947-8396
1432-0630
DOI:10.1007/bf01567650