Estimation of the electron-collision initiation rate constant for the plasma polymerization and deposition of ethane using a transport-based model

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma chemistry and plasma processing 1992-12, Vol.12 (4), p.551-563
Hauptverfasser:	JENSEN, J. R, SOLEN, K. A
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Exact sciences and technology Physicochemistry of polymers Polymerization Polymers and radiations
Online-Zugang:	Volltext
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