Evaluation of CF4 plasma chemistry by power modulation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma chemistry and plasma processing 1992-12, Vol.12 (4), p.523-549
Hauptverfasser:	KISS, L. D. B, SAWIN, H. H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electric discharges Exact sciences and technology Physics Physics of gases, plasmas and electric discharges Physics of plasmas and electric discharges
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