Spectroscopic investigation of the discharge for PA-CVD of TiN

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma chemistry and plasma processing 1993-03, Vol.13 (1), p.93-101
Hauptverfasser:	RIE, K.-T, GEBAUER, A, WÖHLE, J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid surfaces and solid-solid interfaces Surface and interface dynamics and vibrations Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties) Thin film structure and morphology
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