Inverse velocities of sputtered monatomic ions: Systematics and quantification

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Mikrochimica acta (1966) 1997-01, Vol.125 (1-4), p.317-323
Hauptverfasser:	LODDING, A. R, VAN DER HEIDE, P. A. W, BROWN, J. D, SÖDERVALL, U. S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Atomic, molecular, and ion beam impact and interactions with surfaces Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Electron and ion emission by liquids and solids impact phenomena Exact sciences and technology Impact phenomena (including electron spectra and sputtering) Metals. Metallurgy Physics
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