Theoretical simulation of backscattered electron images of Si/SixGe1-x structures with a scanning electron microscope

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Mikrochimica acta (1966) 1994-12, Vol.114-115 (1), p.261-266
Hauptverfasser:	De Riccardis, Angela C., Merli, Pier Giorgio, Nacucchi, Michele, Tapfer, Leander
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!