Electron and ion beam analysis of composition and strain in Si-x Ge x /Si heterostructures

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Mikrochimica acta (1966) 1994-12, Vol.114-115 (1), p.175-185
Hauptverfasser:	Armigliato, Aldo, Govoni, Donato, Balboni, Roberto, Frabboni, Stefano, Berti, Marina, Romanato, Filippo, Drigo, Antonio V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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