Electrochemical etch-stop control for silicon structures containing electronic components

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied electrochemistry 1988-05, Vol.18 (3), p.463-468
Hauptverfasser:	GEALER, R. L, HAMMERLE, R. H, KARSTEN, H, WROBLOWA, H. S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
Online-Zugang:	Volltext
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