Calibrating a scanning electron microscope by means of a linear measure having one certified dimension

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Measurement techniques 1994-07, Vol.37 (7), p.841-844
Hauptverfasser:	Novikov, Yu. A., Rakov, A. V., Stekolin, I. Yu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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