Growth of gallium arsenide under various initial supersaturation levels in a gaas-ASCL3-H2 gas-transport system: 1. Growth kinetics and structure of epitaxial layers
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Veröffentlicht in: | Soviet Physics Journal 1976-06, Vol.19 (6), p.726-730 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0038-5697 1573-9228 |
DOI: | 10.1007/BF00943469 |