Scope for reducing the sensitivity of a microtarget to asymmetry in laser irradiation
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Veröffentlicht in: | Journal of applied mechanics and technical physics 1983, Vol.23 (4), p.481-482 |
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Hauptverfasser: | , , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0021-8944 1573-8620 |
DOI: | 10.1007/BF00916709 |