Scope for reducing the sensitivity of a microtarget to asymmetry in laser irradiation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied mechanics and technical physics 1983, Vol.23 (4), p.481-482
Hauptverfasser: Bokov, N. N., Bunatyan, A. A., Lykov, V. A., Neuvazhaev, V. E., Strotseva, L. P., Frolov, V. D.
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-8944
1573-8620
DOI:10.1007/BF00916709