Ionic processes in dielectric layers on silicon surface and their effect on electrophysical properties of silicon-dielectric boundary

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Soviet Physics Journal 1977-09, Vol.20 (9), p.1156-1159
Hauptverfasser:	Tarantov, Yu. A., Kas'yanenko, E. V., Konorov, P. P., Bulavinov, V. V.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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