Ion-implantation doping of semiconductors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	J. Mater. Sci., 2: 589-609 (Nov. 1967) 2: 589-609 (Nov. 1967), 1967-11, Vol.2 (6), p.589-609
Hauptverfasser:	Large, L. N., Bicknell, R. W.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	ELECTRIC CONDUCTIVITY IONS N33110 -Physics (Solid State)-Radiation Effects SEMICONDUCTORS SEMICONDUCTORS/electric conductivity changes in, from ion-implantation doping VARIATIONS
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