Si Etching affected by IR laser irradiation

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied Physics A Solids and Surfaces 1985-06, Vol.37 (2), p.117-119
Hauptverfasser:	BUNKIN, F. V, LUK'YANCHUK, B. S, SHAFEEV, G. A, KOZLOVA, E. K, PORTNIAGIN, A. I, YERYOMENKO, A. A, MOGYOROSI, P, KISS, J. G
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Physics Solid-fluid interfaces Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
Online-Zugang:	Volltext
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